原子熒光光譜儀是通過測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發(fā)下產生的熒光發(fā)射強度，來確定待測元素含量的方法。具有原子吸收和原子發(fā)射光譜兩種技術的優(yōu)勢，克服了單一技術在某些方面的缺點，對一些元素具有分析靈敏度高、干擾少、線性范圍寬、可多元素同時分析等特點。減小了光源與PMT的激發(fā)角度，既增加了接收熒光信號強度，又降低了背景干擾，從而提高儀器靈敏度。 氣態(tài)自由原子吸收特征波長輻射后，原子的外層電子從基態(tài)或低能級躍遷到高能級經過約10s，又躍遷至基態(tài)或低能級，同時發(fā)射出與原激發(fā)波長相同或不同的輻射，稱為原子熒光。原子熒光分為、直躍熒光、共振熒光階躍熒光等等。
1.直躍線熒光
當處于基態(tài)的價電子受激躍遷至高能態(tài)（E2），處于高能態(tài)的激發(fā)態(tài)電子在躍遷到低能態(tài)（E1）（但不是基態(tài)）所發(fā)射出的熒光被稱為直躍線熒光。
2.共振熒光
處于基態(tài)或低能態(tài)的原子, 吸收光源中的共振輻射躍遷到高能態(tài), 處于高能態(tài)的原子在返回基態(tài)或相同低能態(tài)的過程中, 發(fā)射出與激發(fā)光源輻射相同波長的熒光,這種熒光稱為共振熒光。
3.階躍線熒光
當價電子從基態(tài)躍遷至高能態(tài)(E2)后, 由于受激碰撞損失部分能量而降至較低的能態(tài)(E1)。從較低能態(tài)（E1）回到基態(tài)（E0）時所發(fā)出的熒光稱為階躍線熒光。
4.熱助階躍線熒光
基態(tài)原子通過吸收光輻射躍遷至高能態(tài)(E2), 處于高能態(tài)的價電子在熱能的作用下進一步激發(fā), 電子躍遷至與能級E2相近的更高能態(tài)E3。當去激發(fā)至低能態(tài)（E1）（不是基態(tài)）時所發(fā)出的次級光被稱為熱助階躍線熒光。
5.敏化熒光
當受激的第一種原子與第二種原子發(fā)生非彈性碰撞時, 可能把能量傳給第二種原子, 從而使第二個原子被激發(fā), 受激的第二種原子去激發(fā)過程中所產生的熒光叫敏化熒光。
原子熒光光譜儀廣泛應用于教學研究、藥品檢驗、食品衛(wèi)生檢驗、衛(wèi)生防疫、醫(yī)療臨床檢驗、城市給排水檢驗、農產品檢驗、、環(huán)保監(jiān)測、化妝品檢驗、飲料檢驗冶金樣品檢驗、地質普查檢測等行業(yè)。
